Preciznost obrade CNC alatnih mašina za rezanje metala je poboljšana sa originalnog nivoa žice (0,01 mm) na nivo mikrona (0,001 mm), a neke varijante su dostigle oko 0,05 μm. Za mikro-sečenje i brušenje ultra-preciznih CNC alatnih mašina, tačnost može biti stabilno oko 0,05 μm, a tačnost oblika može doseći oko 0,01 μm. Preciznost specijalne obrade korišćenjem svetlosti, električne energije, hemijskih i drugih izvora energije može dostići nanometarski nivo (0,001μm). Kroz optimizaciju dizajna strukture alatnih mašina, ultra-završnu obradu i preciznu montažu dijelova alatnih strojeva, korištenje visoke{12}}potpune preciznosti-zatvorene- kontrole i tehnologije dinamičke kompenzacije grešaka kao što su temperatura i vibracije, geometrijska preciznost i obrada alata mašine, smanjena je greška u obradi, smanjena je greška itd. , kako bismo ušli u eru sub-mikronske i nano{18}} ultra-završne obrade.
